佐藤淳一のレビュー一覧
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Posted by ブクログ
仕事用。
半導体チップのエンジニアである著者による、各プロセスの半導体製造装置の構造・仕組み・来歴に関する専門書。
仕事で半導体業界に関わっているので半導体チップの大まかな工程や業界構造については知っているが、各プロセスや製造装置の詳細まで完全に理解しているわけではなかったので、体系的な知識を頭に入れたいと思って読んだ。
半導体製造は今や完全なる設備産業であり、複雑な製造プロセスが半導体製造装置メーカが供給する装置によって自動化されている。
それぞれのプロセスで設計思想や制約条件、求められる機能が異なるので、これらを理解しておくことは重要である。
勿論、専門書なので専門用語が多く内容は -
Posted by ブクログ
パワー半導体の材料・ウェハプロセスなどを一般的な半導体と比較して解説している。図が豊富で分かりやすいものの、従来の半導体プロセスをある程度知っていることが前提となっている。シリコンウェハの製造法やダイシング、ボンディング、パッケージングと半導体関連書籍では余り扱われることのない話題にも触れていた。一方でイオンインプラントや半導体マスク、ウェハプロセスそのものについては触れられていなかった。おそらく従来プロセスと同じなのだろうけど一言ぐらいは触れておいたほうが同じなのか違うのか迷わずにすむと思う。あと、パワー半導体に関わる企業にかなりのページを割き、各項目においても随時触れていた。業界動向を知