半導体製造の中で、リソグラフィーと双璧をなし、電気、化学、物理など幅広い知識を必要とするドライエッチング技術。その基本から技術応用まで、分かりやすくまとめられた名著。
ビギナー向けに、難しい数式などは使用せず、反応メカニズムの図解やSEM写真、相関グラフが適切に配置し、ドライエッチングの全体像が易しく理解できるよう配慮されており、とても読みやすかったです。
複雑な現象を、噛み砕いて、これだけエッセンスを分かりやすく読者に伝えられるのは、ドライエッチングを底から理解されてるからだと強く思いました。
