改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

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作品内容

「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング(ALE)など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。

カテゴリ
ビジネス・実用
ジャンル
学術・語学 / 理工
出版社
技術評論社
ページ数
200ページ
電子版発売日
2020年11月02日
紙の本の発売
2020年10月
サイズ(目安)
21MB

改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術 のユーザーレビュー

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    Posted by ブクログ 2020年11月25日

    半導体製造の中で、リソグラフィーと双璧をなし、電気、化学、物理など幅広い知識を必要とするドライエッチング技術。その基本から技術応用まで、分かりやすくまとめられた名著。

    ビギナー向けに、難しい数式などは使用せず、反応メカニズムの図解やSEM写真、相関グラフが適切に配置し、ドライエッチングの全体像が易...続きを読む

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