野尻一男の作品一覧
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2020/11/02更新
ユーザーレビュー
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半導体製造の中で、リソグラフィーと双璧をなし、電気、化学、物理など幅広い知識を必要とするドライエッチング技術。その基本から技術応用まで、分かりやすくまとめられた名著。
ビギナー向けに、難しい数式などは使用せず、反応メカニズムの図解やSEM写真、相関グラフが適切に配置し、ドライエッチングの全体像が易...続きを読むPosted by ブクログ -
半導体ドライエッチング思い出し作業のために購入
加工するプロセスにおけるキープロセスなので、基本事項は抑えておくという目的では非常に有用
基本プロセスと原理が書いてある良書
初心者には良いと思うPosted by ブクログ
