※この商品はタブレットなど大きいディスプレイを備えた端末で読むことに適しています。また、文字だけを拡大することや、文字列のハイライト、検索、辞書の参照、引用などの機能が使用できません。 ※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。 センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！ 【平成19年度　電気学会著作賞　受賞】 　「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。 　本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。 1章　本書の構成と使い方 2章　センサ・マイクロマシンの概要 3章　微細構造製作プロセス技術 4章　物理センサ 5章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン 6章　化学センサとマイクロ化学システム