改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

野尻一男

「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。

• カテゴリ: ビジネス・実用
• ジャンル: 学術・語学 / 理工
• 出版社: 技術評論社
• ページ数: 200ページ
• 電子版発売日: 2020年11月02日
• コンテンツ形式: EPUB
• サイズ(目安): 21MB

[ブクログ · ★★★★★]

半導体製造の中で、リソグラフィーと双璧をなし、電気、化学、物理など幅広い知識を必要とするドライエッチング技術。その基本から技術応用まで、分かりやすくまとめられた名著。

ビギナー向けに、難しい数式などは使用せず、反応メカニズムの図解やSEM写真、相関グラフが適切に配置し、ドライエッチングの全体像が易しく理解できるよう配慮されており、とても読みやすかったです。

複雑な現象を、噛み砕いて、これだけエッセンスを分かりやすく読者に伝えられるのは、ドライエッチングを底から理解されてるからだと強く思いました。