図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第2版］

佐藤淳一

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半導体ビジネスに関わりたいとお考えのあなた。実際の半導体製造装置がどのようなものか、ご存知でしょうか。本書は、半導体製造装置について、実際の製造現場をしらない人にも理解しやすいようイラストや表を使いながら図解する入門書の第2版です。半導体製造装置の種類や機能、それぞれの装置が半導体ファブ（工場）でどのように結びついているのか、監査・測定・解析装置はどのようなものかなど、半導体製造技術を幅広く俯瞰します。

• カテゴリ: ビジネス・実用
• ジャンル: 学術・語学 / 理工
• 出版社: 秀和システム
• 電子版発売日: 2017年09月08日
• コンテンツ形式: EPUB
• サイズ(目安): 58MB

[ブクログ · ★★★☆☆]

半導体製造装置、主に前工程について解説した本です。
半導体プロセスに関係する仕事をしている人が、とりあえず一通り単語の意味を知るために読む本としてお勧め。
あまりこの分野に関わらない人が手に取っても、中身が頭に入って来ないと思います。